Информация о книге

9785996330010

Главная  » Электронные книги, аудиокниги » Техническая механика микросистем

Андрианов А.Н., Панкратов О., Погалов А.И., Тимофеев В.С., Угольников С.А., Техническая механика микросистем

БИНОМ. Лаборатория знаний, 2015 г., 179 стр., 9785996330010


Описание книги

Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) \"Микросистемная техника\" и \"Микроэлектроника и твердотельная электроника\". Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.

Поделиться ссылкой на книгу



Содержание книги

Введение......6Глава 1. Основы анализа колебаний механической системы......111.1. Гармонические колебания......111.2. Собственные колебания......151.3. Вынужденные колебания......201.4. Резонанс системы......25Глава 2. Напряженно-деформированное состояние несущих элементов микромеханических приборов......282.1. Напряженно-деформированное состояние пластин......282.1.1. Напряженно-деформированное состояние круглой пластины......282.1.2. Напряженно-деформированное состояние прямоугольной пластины......342.2. Напряженно-деформированное состояние опорных элементов микромеханических приборов......422.2.1. Напряженно-деформированное состояние в системе с одноконсольной балочной опорой......422.2.2. Напряженно-деформированное состояние в системе с многоконсольной балочной опорой......482.2.3. Напряженно-деформированное состояние в системе с торсионной линейной опорой......512.2.4. Напряженно-деформированное состояние в системе с четырехконсольной ломаной одноветьевой балочной опорой......522.2.5. Напряженно-деформированное состояние в системе с четырехконсольной ломаной двухветьевой балочной опорой......60Глава 3. Демпфирование колебаний......663.1. Вязкое демпфирование среды......663.2. Конструкционное демпфирование......713.2.1. Характеристики конструкционного демпфирования колебаний......713.2.2. Экспериментальные методы определения характеристик конструкционного демпфирования......763.2.3. Факторы
влияющие на демпфирующие свойства материалов......78Глава 4. Электромеханика микросистем......804.1. Преобразователи перемещений чувствительных элементов микросистем......804.1.1. Емкостные преобразователи перемещений......804.1.2. Тензорезистивные преобразователи перемещений......824.2. Электростатические микроактюаторы......87Глава 5. Датчики давления......905.1. Датчик давления с круглой мембраной......925.2. Датчик давления с квадратной мембраной......945.3. Датчик давления с квадратной мембраной с жестким центром......97Глава 6. Микроакселерометры......1006.1. Физические основы работы инерционных микроакселерометров......1006.2. Пьезорезистивные микроакселерометры......1046.3. Емкостные уравновешивающие микроакселерометры......107Глава 7. Микромеханические гироскопы......1107.1. Гребенчатый микровиброгироскоп......1107.1.1. Уравнения движения гребенчатого микровиброгироскопа......1127.1.2. Перемещение и собственная частота колебаний чувствительного элемента на балкахупругого подвеса......1137.1.3. Упругие перемещения и собственная частота колебаний микровиброгироскопа на трехветьевых опорныхэлементах......1147.1.4. Демпфирование колебаний в микровиброгироскопе......1167.1.5. Пример расчета параметров гребенчатого микровиброгироскопа......1167.2. Вращательно-колебательный микрогироскоп с независимыми консолями......1217.2.1. Уравнения движения системы......1227.2.2. Расчет вертикального перемещения и собственной частоты колебаний прибора вдоль оси oz......1247.2.3. Расчет изгибающей силы и собственной частоты прибора при вращательно-колебательном движении относительно оси oz......1267.2.4. Расчет электростатической силы
создаваемой гребенчатой структурой гироскопа......1287.2.5. Расчет собственной частоты колебаний чувствительного элемента относительно оси oy......1297.2.6. Расчет добротности микрогироскопа по демпфированию для режимов движения и чувствительности......1317.2.7. Расчет силы Кориолиса и чувствительности системы......1327.2.8. Пример расчета параметров вращательно-колебательного микрогироскопа......133Глава 8. Микромеханическое зеркало с карданным подвесом......1408.1. Конструкция микромеханического зеркала......1408.2. Уравнения движения микромеханического зеркала......1418.3. Собственные частоты микромеханического зеркала......1428.4. Конструктивные параметры микромеханического зеркала. Электростатические силы......1438.5. Демпфирование колебаний системы......1468.6. Проверка на прочность торсионов микромеханического зеркала......1488.7. Температурные деформации внутренней рамки с металлическим отражающим слоем......1488.8. Коэффициент предельной динамической перегрузки......1508.9. Пример расчета параметров микромеханического зеркала......151Глава 9. Инженерный анализ микросистемных устройств......162Литература......173Список используемых сокращений и обозначений......175



Об авторе


Последние поступления в рубрике "Электронные книги, аудиокниги"



Расчетное прогнозирование свойств и проектирование составов бетона Расчетное прогнозирование свойств и проектирование составов бетона Дворкин О.Л., Дворкин Л.С.

Излагаются основные расчетные методики прогнозирования основных свойств бетона на основе структурно-физических представлений и экспериментально-статистических моделей. Приведены основы методологии проектирования составов бетона с комплексом заданных проектных показателей....

Техническая энциклопедия Техническая энциклопедия 

Техническая энциклопедия издана в 1927—1934, главный редактор Л. К. Мартенс. 1-ый том вышел 1 января 1928 г. 26 томов, около 6000 статей, около 5000 внутристатейных иллюстраций. Техническая энциклопедия — единственная такого большого объёма, изданная в СССР. Т.21. Ситовейка — Стеариновая кислота....

П.Я. Чаадаев. Жизнь и мышление П.Я. Чаадаев. Жизнь и мышление Гершензон М.А.

Книга известного отечественного историка и литературного критика М.О.Гершензона посвящена жизни и творчеству одного из основателей отечественной философской школы – Петру Яковлевичу Чаадаеву. Здесь представлена широкая картина духовной и светской жизни России первой половины XIX века, показаны взаимоотношения П.Я....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Андрианов А.Н., Панкратов О., Погалов А.И., Тимофеев В.С., Угольников С.А., Техническая механика микросистем в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.