Шевяков В.И.
Россия
| Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" МИЭТ. Автор более 150 научных публикаций. |
Библиография книг автора
 |
Королёв М.
Крупкина Т.Ю.
Путря М.
Шевяков В.И.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния....
|
253 руб. |
 |
Громов Д.
Мочалов А.Д.
Сулимин А.Д.
Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
|
275 руб. |
|
|
Королёв М.
Крупкина Т.Ю.
Путря М.
Шевяков В.И.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния....
|
253 руб. |
|
|
Громов Д.
Мочалов А.Д.
Сулимин А.Д.
Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
|
1694 руб. |
 |
Королев М.
Крупкина Т.Ю.
Путря М.
Шевяков В.И.
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 2. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния....
|
483 руб. |
 |
Громов Д.
Мочалов А.Д.
Сулимин А.Д.
Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
|
478 руб. |