Информация о книге

9783844352924

Главная  » Научно-техническая литература » Математика. Естественные науки » Физика » Общая физика » ЭУФ литография на длине волны 13,5 нм

Пестов А., ЭУФ литография на длине волны 13,5 нм

LAP Lambert Academic Publishing, 2011 г., 160 стр., 9783844352924


Описание книги

Проекционная литография с длиной волны 193 нм в настоящее время является ключевой технологией при производстве элементов микроэлектроники с помощью которой осуществляется \"запись\" топологического рисунка на фоторезисте с последующим проявлением. Благодаря применению различных методов улучшения изображений разрешение литографических установок уже превзошло дифракционный предел и достигает 32 нм. Ценой этого является ограниченный набор топологий, снижение производительности и дороговизна литографического процесса. Экономически выгодное освоение технологических норм 10-30 нм связывается с литографией экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) диапазона, в котором основой оптических элементов являются многослойные интерференционные структуры (МИС). Несмотря на успехи, подтвердившие перспективы ЭУФ литографии для формирования наноструктур, на пути к коммерческому литографу на 13,5 нм предстоит решить ещё ряд научных и технологических проблем. В данной работе предлагаются методы диагностики и...

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе


Последние поступления в рубрике "Общая физика"



Общая физика: механика. Электричество и магнетизм. Учебное пособие для академического бакалавриата Общая физика: механика. Электричество и магнетизм. Учебное пособие для академического бакалавриата Зотеев А.

Учебное пособие представляет собой развернутый конспект лекций по разделам «Механика» и «Электромагнетизм». Рассматриваются такие темы, как кинематика и динамика материальной точки и твердого тела, законы сохранения......

Сборник зхадач и вопросов по физике Сборник зхадач и вопросов по физике Егорова С.И., Вердеровская Н.

Настоящий сборник содержит около 700 задач с ответами по следующим разделам физики: механика, молекулярная физика и теплота, электромагнетизм, оптика и строение атома. В начале каждого раздела дано краткое теоретическое введение с основными законами и формулами, а также примеры решения задач....

Элементарная физика для средних учебных заведений. Со многими упражнениями и задачами. Акустика, оптика, магнетизм, электричество, гальванизм, механический отдел, приложения Элементарная физика для средних учебных заведений. Со многими упражнениями и задачами. Акустика, оптика, магнетизм, электричество, гальванизм, механический отдел, приложения Киселев А.

Вниманию читателей предлагается классический курс элементарной физики, написанный выдающимся педагогом и методистом А.П. Киселевым. В книге содержится большое количество задач и упражнений, ко многим из которых, помимо ответов, даны решения и указания, и которые могут использоваться для самостоятельных занятий любознательного ученика....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Пестов А., ЭУФ литография на длине волны 13,5 нм в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.