Информация о книге

9785948365213

Главная  » Электронные книги, аудиокниги » МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники

Акчурин Р.С., Мармалюк А., МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники

Техносфера, 2018 г., 488 стр., 9785948365213


Наличие в интернет-магазинах

Магазинов: 1, Цена: от 764 руб. посмотреть все

Описание книги

В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов.Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники.Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.

Купить эту книгу можно в интернет-магазинах

  My-Shop - 764 руб.   Book24 - 1359 руб.
  Страница товара выбранного интернет-магазина откроется в новом табе

Скачать, но не бесплатно эту книгу можно в интернет-магазинах

  Литрес - 749 руб.

Читать онлайн


Доступен для чтения фрагмент книги

Поделиться ссылкой на книгу



Содержание книги

Введение......5Глава 1. Общая характеристика метода......8Глава 2. Термодинамические и кинетические аспекты МОСГЭ......21Глава 3. Массоперенос......30Глава 4. Источники
используемые для получения ЭС AIIIBV и AIIBVI......39Глава 5. Механизмы и кинетика химических реакций......64Глава 6. Процессы на поверхности роста......75Глава 7. Оборудование МОСГЭ......89Глава 8. Моделирование МОСГЭ......119Глава 9. МОСГЭ полупроводников AIIIBV......143Глава 10. МОСГЭ полупроводников AIIBVI......434Глава 11. Другие классы материалов......474



Об авторе

Акчурин Р.С.

Мармалюк А.


Последние поступления в рубрике "Электронные книги, аудиокниги"



Tod eines Soldaten Tod eines Soldaten Klinkhammer ".
Seltene Hunderassen aus aller Welt Seltene Hunderassen aus aller Welt Frey F.
Vulpes Lupus Canis Gajaze K.

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Акчурин Р.С., Мармалюк А., МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.