Информация о книге

9783844352887

Главная  » Научно-техническая литература » Математика. Естественные науки » Физика » Общая физика » Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца

Крылов В.К., Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца

LAP Lambert Academic Publishing, 2011 г., 144 стр., 9783844352887


Описание книги

В работе описана новая конструкция и схема расположения катодного и анодного узлов разработанной установки ионно-плазменного травления микроструктур со сканируемым ВЧ - магнетроном, обеспечивающие высокие скорости ионного и реактивно-ионного травления различных материалов. Определены и описаны оптимальные режимы травления кварца. Впервые предложено устройство для утилизации хлорсодержащих газов и (или) изменения состава рабочего газа. Определены оптимальные режимы процессов реактивного ионно-лучевого травления кварца в различных хлорсодержащих газах. Исследованы возможности использования твердотельного источника фтора для ионно-лучевого травления кварца. Определены оптимальные режимы ионно-лучевых и ионно-плазменных процессов полировки кварца.

Ключевые слова


  кварц 


Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Крылов В.К.


Последние поступления в рубрике "Общая физика"



Общая физика: механика. Электричество и магнетизм. Учебное пособие для академического бакалавриата Общая физика: механика. Электричество и магнетизм. Учебное пособие для академического бакалавриата Зотеев А.

Учебное пособие представляет собой развернутый конспект лекций по разделам «Механика» и «Электромагнетизм». Рассматриваются такие темы, как кинематика и динамика материальной точки и твердого тела, законы сохранения......

Сборник зхадач и вопросов по физике Сборник зхадач и вопросов по физике Егорова С.И., Вердеровская Н.

Настоящий сборник содержит около 700 задач с ответами по следующим разделам физики: механика, молекулярная физика и теплота, электромагнетизм, оптика и строение атома. В начале каждого раздела дано краткое теоретическое введение с основными законами и формулами, а также примеры решения задач....

Элементарная физика для средних учебных заведений. Со многими упражнениями и задачами. Акустика, оптика, магнетизм, электричество, гальванизм, механический отдел, приложения Элементарная физика для средних учебных заведений. Со многими упражнениями и задачами. Акустика, оптика, магнетизм, электричество, гальванизм, механический отдел, приложения Киселев А.

Вниманию читателей предлагается классический курс элементарной физики, написанный выдающимся педагогом и методистом А.П. Киселевым. В книге содержится большое количество задач и упражнений, ко многим из которых, помимо ответов, даны решения и указания, и которые могут использоваться для самостоятельных занятий любознательного ученика....

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Крылов В.К., Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.