Информация о книге

9783843378376

Главная  » Научно-техническая литература » Математика. Естественные науки » Химия » Физическая химия » Etching of wide-bandgap chemically resistant semiconductors

Kelly D., Etching of wide-bandgap chemically resistant semiconductors

LAP Lambert Academic Publishing, 2010 г., 160 стр., 9783843378376


Описание книги

Silicon carbide (SiC) and gallium nitride (GaN) are believed to be ideal materials for the fabrication of electronic devices that can operate at high power levels, temperatures, and frequencies, because they exhibit a larger bandgap, higher breakdown electric field and higher saturated drift velocity than Si. SiC is also an attractive substrate for group III nitride-based optoelectronic devices such as blue light-emitting diodes and diode lasers. In addition, because of its exemplary chemical and mechanical properties SiC, in combination with Si, is finding wider application in sensors and micro-electromechanical systems (MEMS). Furthermore, GaN and SiC can be used as a photocathode for water splitting. For device fabrication, etching is an essential step. Dry etching techniques (i.e. reactive ion, electron cyclotron and inductively coupled plasma) are mostly used. The main disadvantages of these techniques are the high costs and the possibility of creating damage in the wafer. In...

Поделиться ссылкой на книгу




Об авторе

Kelly D.


Последние поступления в рубрике "Физическая химия"



Теория горения и взрыва. Учебник и практикум для СПО Теория горения и взрыва. Учебник и практикум для СПО Тотай А.

В учебнике рассматриваются общие положения теории воспламенения горючих систем, особенности распространения горения по поверхности жидких и твердых веществ, основы тепловой теории прекращения горения. Особое внимание уделено описанию характеристик......

Теория горения и взрыва. Учебник и практикум для прикладного бакалавриата Теория горения и взрыва. Учебник и практикум для прикладного бакалавриата Тотай А.

В учебнике рассматриваются общие положения теории воспламенения горючих систем, особенности распространения горения по поверхности жидких и твердых веществ, основы тепловой теории прекращения горения. Книга включает в себя хороший методический......

Физическая химия. Строительные материалы. Учебное пособие для вузов Физическая химия. Строительные материалы. Учебное пособие для вузов Семериков И.

Каждый вид строительных материалов представляет собой систему — тело или группу тел, мысленно обособленных от окружающей среды. Система имеет определенные границы и характеризуется параметрами или свойствами, например, температурой, давлением,......

Если Вы задавались вопросами "где найти книгу в интернете?", "где купить книгу?" и "в каком книжном интернет-магазине нужная книга стоит дешевле?", то наш сайт именно для Вас. На сайте книжной поисковой системы Книгопоиск Вы можете узнать наличие книги Kelly D., Etching of wide-bandgap chemically resistant semiconductors в интернет-магазинах. Также Вы можете перейти на страницу понравившегося интернет-магазина и купить книгу на сайте магазина. Учтите, что стоимость товара и его наличие в нашей поисковой системе и на сайте интернет-магазина книг может отличаться, в виду задержки обновления информации.