Магазинов: 1, Цена: от 179 руб. посмотреть все

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных. Для студентов, обучающихся по специальностям 220201(210100) "Управление и информатика в технических системах" (специалист), 210104(200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (специалист), 210107(200500) "Электронное машиностроение" (специалист), 220301 (210200) "Автоматизация технологических процессов и производств (по отраслям)" (специалист), 210100(550700) "Электроника и микроэлектроника" (бакалавр), 220200(550200) "Автоматизация и управление" (бакалавр) и может быть полезно аспирантам, научным работникам и инженерам.

  Лабиринт - 179 руб.

  Литрес - 549 руб.

Введение
Глава 1. Управление технологическими процессами
в микроэлектронике
1.1. Основные технологические процессы
производства изделий микроэлектроники
1.2. Основные характеристики оборудования
автоматизированного производства
микроэлектроники
1.2.1. Обработка поверхности пластин
1.2.2. Литография
1.2.3. Физико-термические процессы
1.2.4. Нанесение слоев
1.3. Подсистемы технологического
оборудования
Глава 2. Системы автоматизации технологических
процессов
2.1. Основные понятия и определения
2.2. Регуляторы уровня жидкости и
центробежный регулятор скорости вращения
2.3. Функциональная схема систем
автоматического управления
2.4. Классификация систем автоматического
управления
2.5. Основные принципы управления
2.5.1. Принцип управления по возмущению
2.5.2. Принцип управления по отклонению
2.5.3. Комбинированный принцип управления
Глава 3. Средства автоматизации и управления
3.1. Измерение технологических параметров
3.2. Основные определения
3.3. Классификация
контрольно-измерительных приборов
3.4. Виды первичных преобразователей
3.5. Методы и приборы для измерения
температуры
3.5.1. Термометры расширения (жидкостные
стеклянные)
3.5.2. Термометры, основанные на расширении
твердых тел
3.5.3. Газовые и жидкостные манометрические
термометры
3.5.4. Конденсационные манометрические
термометры
3.5.5. Электрические термометры
3.5.6. Термометры сопротивления
3.5.7. Пирометры излучения
3.5.8. Цветовые пирометры
3.6. Вторичные приборы для измерения
разности потенциалов
3.6.1. Пирометрические милливольтметры
3.6.2. Потенциометры
3.6.3. Автоматические электрические
потенциометры
3.7. Методы измерения сопротивления
3.8. Методы и приборы для измерения
давления и разряжения
3.8.1. Жидкостные манометры
3.8.2. Чашечные манометры и дифманометры
3.8.3. Микроманометры
3.8.4. Пружинные манометры
3.9. Методы и приборы для измерения расхода
пара, газа и жидкости
3.9.1. Метод переменного перепада давления
3.9.2. Расходомеры постоянного перепада
давления
3.9.3. Расходомеры переменного уровня
3.9.4. Расходомеры скоростного напора
3.10. Методы и приборы для измерения уровня
3.10.1. Поплавковый метод измерения уровня
3.10.2. Буйковые уровнемеры
3.10.3. Гидростатические уровнемеры
3.10.4. Электрические методы измерения уровня
3.10.5. Радиоволновые уровнемеры
Глава 4. Применение микропроцессорной техники
в автоматизации технологических процессов
4.1. Комплекс технических средств
многоуровневой системы управления
4.2. Основные технические характеристики
контроллеров и программно-технических
комплексов
4.2.1. Характеристика процессора
4.2.2. Характеристика каналов ввода/вывода
контроллеров
4.2.3. Коммуникационные возможности
контроллеров
4.2.4. Эксплуатационные характеристики
4.2.5. Программное обеспечение
4.3. Новые технологии в производстве
контроллеров
Глава 5. АСУТП и диспетчерское управление
5.1. Общие понятия
5.1.1. Определение и общая структура SCADA
5.1.2. Функциональная структура SCADA
5.1.3. Особенности SCADA как процесса
управления
5.2. Аппаратные и программные средства
SCADA-систем
5.2.1. Основные требования к 5СЛДА-системам
5.2.2. Основные возможности современных
SCADA-пакетов
5.2.3. Тенденции развития аппаратных и
программных средств SCADA-систем
Общие тенденции
Удаленные терминалы
Каналы связи
Диспетчерские пункты управления
Операционные системы
Прикладное программное обеспечение
5.3. SCADA-продукты на российском рынке
5.3.1. Интегрированный пакет комплексной
автоматизации Factory Suite
5.3.2. SCADA-система InTouch
5.3.3. SCADA-система Cited
5.3.4. SCADA-системы FIXniFIX
5.3.5. SCADA-система SIMATIC WinCC
5.3.6. SCADA-система TRACE MODE
Литература