Галперин В.
| |
Библиография книг автора
 |
Галперин В.
Данилкин Е.
Мочалов А.Д.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем....
|
297 руб. |
 |
Галперин В.
Данилкин Е.
Мочалов А.Д.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем....
|
823 руб. |