Данное пособие предназначено для студентов, изучающих вакуумную технику и технологию полупроводниковых приборов. Цель, которую поставили перед собой авторы, состоит в том, чтобы в доступной форме обобщить материал, который накоплен в различных литературных источниках за большой временной период....