Сулимин А.Д.
Россия
| Ведущий специалист ОАО "НИИМЭ и завод "Микрон". Автор более 200 научных публикаций, более 100 изобретений и патентов. |
Библиография книг автора
 |
Громов Д.
Мочалов А.Д.
Сулимин А.Д.
Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
|
275 руб. |
|
|
Громов Д.
Мочалов А.Д.
Сулимин А.Д.
Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
|
1694 руб. |
 |
Громов Д.
Мочалов А.Д.
Сулимин А.Д.
Шевяков В.И.
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов....
|
478 руб. |